INFICON Cool Drawer Single Sensor - Manual (Page 9)

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Cool Drawer Single and Dual Sensors Operating Manual
4.3.5 Sputtering System Concerns . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-9
4.3.6 Leaf Spring Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-9
4.4 Crystal Replacement Instructions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-10
4.5 Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-12
4.5.1 Crystal Drawer Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-12