INFICON Crystal 12 Sensor - Manual (Page 11)

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Crystal12 Sensor Operating Manual
Table Of Contents
Chapter 1
Sensor Specifications
1.1 Specifications for Crystal12 Sensor 750-667-G1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
1.1.1 Installation Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2
1.1.1.1 Feedthrough . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2
1.1.1.2 Other. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2
1.1.1.3 Utilities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2
1.1.2 Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3
1.1.3 Unpacking Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3
1.1.4 Inventory. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-4
1.1.4.1 Standard . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-4
1.1.4.2 Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-4
1.2 Using this Manual . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-12
1.2.1 Symbols and their Definitions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-12
1.3 How to Contact Customer Support. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-13
1.3.1 Returning Your Crystal12 Sensor to INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-13
Chapter 2
Sensor Installation
2.1 Crystals in the Crystal12 Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.1 Handle the Crystal with Care . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.2 Replacing Crystals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.2 Pre-installation Sensor Check . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
2.2.1 Cygnus Deposition Controller. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
2.3 General Guidelines for Crystal12 Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
2.3.1 Crystal Sensor Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-5
2.4 Crystal12 Sensor Installation when used with Cygnus. . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.4.1 Changing Crystal Sensor Type and
Programming the Relay Outputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.4.2 Wiring the Relay Outputs with Relay I/O Boards
760-162-G1 or 760-162-G1/G2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-9
2.5 Crystal12 Operation when used with a Cygnus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11
2.5.1 Initialization. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11
2.5.2 Crystal Switching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11
2.6 Crystal12 Sensor Requirement when Not Installed with a Cygnus . . . . . . 2-12