INFICON CrystalSix Sensor - Manual (Page 7)

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N 07
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CrystalSix Sensor Operating Manual
Table Of Contents
Chapter 1
Sensor Specifications
1.1 Specifications for CrystalSix Sensor 750-446-G1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
1.1.1 Installation Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2
1.1.1.1 Feedthrough . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2
1.1.1.2 Other. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2
1.1.1.3 Utilities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2
1.1.2 Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3
1.1.3 Unpacking Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3
1.1.4 Inventory. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3
Chapter 2
Sensor Installation
2.1 Crystals in the CrystalSix Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.1 Handle the Crystal with Care . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.2 Care of the Ceramic Retainer. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
2.2 Pre-installation Sensor Check . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
2.2.1 IC/5 Deposition Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
2.2.2 XTC/2 or XTC/C Deposition Controller. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-5
2.2.3 IC/4 or IC/4 PLUS Deposition Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-5
2.2.4 IC-6000 or XTC Deposition Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-6
2.3 General Guidelines for CrystalSix Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-6
2.3.1 Crystal Sensor Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-10
2.4 CrystalSix Sensor Installation when
used with an IC/5 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-12
2.4.1 Programming the Relay Outputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-12
2.4.2 Wiring the Relay Outputs with Relay I/O Boards
760-162-G1 or 760-162-G1/G2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-12
2.5 CrystalSix Sensor Installation when used
with an XTC/2 or XTC/C . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-12
2.6 CrystalSix Sensor Installation when used
with an IC/4 or IC/4 PLUS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-13
2.6.1 Programming the Relay Outputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-13
2.6.2 Wiring the Relay Outputs with Relay I/O Boards
755-122-G1 or 755-122-G1/G2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-13
2.7 CrystalSix Sensor Requirement when Not Installed with an
IC/5, XTC/2, XTC/C, IC/4, or IC/4 PLUS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-15