INFICON UHV Bakeable Sensor - Manual (Page 7)

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4N
UHV Bakeable Sensor Operating Manual
Table Of Contents
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Trademarks
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Chapter 1
Introduction and Specifications
1.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
1.2 Definition of Notes, Cautions and Warnings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2
1.3 How to Contact INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2
1.3.1 Returning the UHV Bakeable Sensor to INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3
1.4 Unpacking and Inspection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3
1.4.1 UHV Bakeable Sensor Configuration Overview and Parts. . . . . . . . . . . . . . 1-4
1.5 Specifications for the UHV Bakeable Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5
1.5.1 UHV Bakeable Sensor without Shutter (PN BK-A0F). . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5
1.5.2 UHV Bakeable Sensor with Shutter (PN BK-A1F) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6
1.5.3 Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6
1.5.4 Installation Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7
1.6 UHV Bakeable Sensor Drawings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
Chapter 2
UHV Bakeable Sensor Installation
2.1 Pre-installation Sensor Check . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.1 Sensor Check with XTC/3, IC6, or Cygnus 2
Deposition Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.2 Sensor Check with STM-2XM, STM-3, SQM-160, SQC-310,
SQM-242, or IQM-233 Deposition Controller/Monitor . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
2.1.3 Sensor Check with Q-pod
™
or STM-2 Deposition Monitor. . . . . . . . . . . . . . 2-3
2.1.4 Sensor Shutter Check . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
2.2 Sensor Installation Guidelines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
2.3 Sensor Installation Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.3.1 Tube Bending . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-9
2.4 Providing Improved Cooling for the Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-10