INFICON TM-400 Thin Film Deposition Monitor - Manual (Page 11)

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TM-350/400 Operating Manual
Chapter 6
Sensor Crystal Replacement
6.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
Chapter 7
Operation
7.1 Front Panel Displays . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.2 Front Panel Controls. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.3 Display and Modification Of Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2
7.4 Thickness Set Point Shutter Control. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-3
7.5 Crystal Test Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-3
7.6 Crystal Fail Indication . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-3
7.7 Power Fail Indication . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-4
7.8 DAC Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-4
Chapter 8
Theory of Operation
8.1 Basic Measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-1
8.2 Film Thickness Calculation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-1
8.3 Crystal Health Calculation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-3
8.4 Rate Calculation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-4
Chapter 9
Establishing The Deposition Parameters
9.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-1
9.2 Tooling Factor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-1
9.3 Sensor Number (TM-400 Only) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-2
9.4 Density . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-2
9.5 Acoustic Impedance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-2
9.6 Empirical Calibration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-3
9.6.1 Material Density Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-3
9.6.2 Tooling Factor Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-3
9.6.3 Acoustic Impedance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-4
Chapter 10
Computer Interface
10.1 General. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-1
10.2 RS-232 Serial Interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-1
10.3 RS-485 Serial Interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-1
10.4 IEEE-488 Parallel Interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-2
10.5 Protocol . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-2