INFICON TM-400 Thin Film Deposition Monitor User Manual
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TM-350/400 Operating Manual
Table Of Contents
Safety Precaution and Preparation for Use
Input Power Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
Power Entry Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
Power Cord. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
Grounding. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
Line Fuses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2
Power Switch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2
General Description
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
Features . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
Independent Film Density and Tooling Factor Parameters . . . . . . . . . . . . . 2-1
Acoustic Impedance Correction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
Parameter Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
High Resolution Autoranged Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
Long-Term Parameter Storage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
Multiple Computer Interfaces . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
Compact Case . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
DAC Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
Multiple Crystal Frequencies . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
Built In Test. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
Dynamic Measurement Update Rate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
Automatic Crystal Switching (TM-400 Only). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
Measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
Computer Interfaces . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
Program Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
Input Capability. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
Output Capability . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
Other. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7