INFICON TM-400 Thin Film Deposition Monitor - Manual (Page 12)

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TM-350/400 Operating Manual
10.6 Data Types . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-3
10.7 Message Received Status . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-3
10.8 Instruction Summary . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-4
10.9 Instruction Descriptions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-5
Chapter 11
Repair and Maintenance
11.1 Handling Precautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-1
11.2 Maintenance Philosophy . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-1
11.3 Self Test Failure Detection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-2
11.3.1 EPROM Failure (E FAIL) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-2
11.3.2 RAM Failure (I FAIL) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-3
11.3.3 Film Data Failure (C-FAIL) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-3
11.3.4 Power Failure (P-FAIL). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-3
11.3.5 Oscillator Failure (O-FAIL) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-3
11.3.6 Sensor Card Failure (S FAIL). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-3
11.4 Troubleshooting Aids To Isolate Installation Faults . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-4
11.5 How To Contact Customer Support . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-6
11.6 Returning Your Instrument to INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-6