INFICON STM-2 USB Thin Film Rate/Thickness Monitor User Manual

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TOC - 3

PN

07

4-

61

3-

P1

A

STM-2 Operating Manual

4.2.3

Starting the STM-2 LabVIEW Application. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3

4.2.3.1

Starting the Software in Windows XP or Windows 7 . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3

4.2.3.2

Starting the Software in Windows 8 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3

4.3

STM-x_win32.VI Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4

4.3.1

Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-6

4.3.1.1

Manual Connection. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8

4.3.1.2

Simulate Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-9

4.3.2

Operate. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-10

4.3.3

Films . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-12

4.3.4

Rate Graph . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-14

4.3.5

Mass/Thick Graph . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-15

4.3.6

Frequency Graph . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-16

4.3.7

Help/About . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-18

Chapter 5

Communication

5.1

Communication Protocol . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1

5.2

Sycon Multi-Drop Protocol (SMDP) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1

5.2.1

Command Format. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1

5.2.1.1

Checksum. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4

5.2.1.2

Command Packet Format. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5

5.2.1.3

Response Packet Format . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6

5.2.2

Optional Serial Command Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6

5.2.2.1

Optional Serial Command Format . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7

5.2.2.2

Additional Option to Serial Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7

5.3

Communications Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-8

Chapter 6

Troubleshooting and Maintenance

6.1

Troubleshooting Guide . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1

6.1.1

Indicator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1

6.1.2

General STM-2 Troubleshooting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2

6.1.3

Troubleshooting Computer Communications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-7

Chapter 7

Calibration Procedures

7.1

Importance of Density, Tooling and Z-Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1

7.2

Determining Density . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1

7.3

Determining Tooling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2

7.4

Laboratory Determination of Z-Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-3

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