INFICON Sputtering Sensor - Manual (Page 12)

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Sputtering Crystal Sensor Operating Manual
Chapter 4
Maintenance
4.1 General Precautions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.1 Handle the Crystal with Care . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.2 Maintain the Temperature of the Crystal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.3 Use the Optimum Crystal Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.4 Crystal Concerns when Opening the Chamber . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
4.1.5 Care of the Ceramic Retainer. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
4.1.6 Leaf Spring Concerns. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
4.2 Crystal Replacement Instructions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
4.3 Retainer Spring Adjustment Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
4.4 Crystal Holder Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
4.5 Sputtering Sensor Shutter Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
Chapter 5
Feedthrough Outline Drawings
5.1 List of Supplied Drawings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1