INFICON SQM-242 Thin Film Deposition Controller Card Operating Manual - Manual (Page 9)

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IP
N 07
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54
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P1
A
SQM-242 Operating Manual
Table Of Contents
Trademarks
Disclaimer
Copyright
Chapter 1
Introduction
1.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
1.1.1 Related Manuals. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2
1.2 Instrument Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3
1.2.1 Definition of Notes, Cautions and Warnings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3
1.2.2 General Safety Information. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-4
1.3 How To Contact Customer Support . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5
1.3.1 Returning Your Instrument to INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5
1.4 Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6
1.4.1 SQM-242 Measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6
1.4.2 SAM-242 Inputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6
1.4.3 SQM-242/SAM-242 Outputs. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6
1.4.4 Setup Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6
1.4.5 External Communications (SQS-242 only). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7
1.4.6 Computer Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7
1.4.7 General Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7
1.4.8 Operating Environment. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.4.9 Storage Temperature . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.4.10 Warm Up Period . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.4.11 Size. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.4.12 Connector Clearance Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.4.13 Weight . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.5 Unpacking and Inspection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9
1.6 Parts and Options Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9
1.6.1 Base Configurations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9
1.6.2 Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9
1.6.3 Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-10