INFICON IQM-233 Thin Film Deposition Controller PCI-Express Card Operating Manual - Manual (Page 12)

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IQM-233 Operating Manual
6.5 Tuning the Control Loop. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-5
6.5.1 Identifying a Fast or Slow Source. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-6
6.5.2 Loop Tuning Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-7
Chapter 7
Measurement Theory
7.1 Basics. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.1.1 Monitor Crystals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2
7.1.2 Period Measurement Technique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-4
7.1.3 Z-Match Technique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-5
Appendix A
Material Table
A.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .A-1