INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Manual (Page 10)

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XTC/3 Operating Manual
1.5 Unpacking and Inspection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-12
1.6 Parts and Options Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-12
1.6.1 Base Configurations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-12
1.6.2 Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-13
1.6.3 Replacement Cables & Oscillators. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-14
1.6.4 Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-14
1.7 Initial Power On Verification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16
Chapter 2
Installation and Interfaces
2.1 Location Guidelines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.1 Sensor Types . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.2 Sensor Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
2.1.3 XTC/3 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
2.2 Avoiding Electrical Interference . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
2.2.1 Verifying/Establishing Earth Ground . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
2.2.2 Connections to Earth Ground. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-5
2.2.3 Minimizing Noise Pickup From External Cabling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-6
2.3 Connecting the Controller. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.3.1 Verifying the Correct Input Voltage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.3.2 Routing Oscillator (XIU) Cables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.3.3 Interface Cable Fabrication and Pin-Out . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.3.3.1 Source Control Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.3.3.2 Input and Output Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-8
2.3.3.2.1 System I/O Connector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-9
2.3.3.2.2 Aux I/O Connector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-10
2.3.3.2.3 Inputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-10
2.3.4 RS-232C Communications. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11
2.3.5 TCP/IP Communications Connection (Optional) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11
2.3.5.1 Network Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11
2.3.5.2 Change the IP Address in XTC/3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11
2.3.5.3 PC Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11
Chapter 3
Operation
3.1 Front Panel Controls . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.2 Rear Panel Interfaces. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2
3.3 Displays . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
3.3.1 Menu Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-5