INFICON IQM-233 Thin Film Deposition Controller PCI-Express Card Codeposition Software Operating Manual - Manual (Page 10)

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A
IQS-233 Operating Manual
Chapter 4
Calibration Procedures
4.1 Importance of Density, Tooling and Z-Ratio. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.2 Determining Density . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.3 Determining Tooling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
4.4 Determining Z-Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
4.5 Tuning the Control Loop. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
4.5.1 Identifying a Fast or Slow Source. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-6
4.5.2 Loop Tuning Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7
Appendix A
Material Table
A.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .A-1