INFICON IQM-233 Thin Film Deposition Controller PCI-Express Card Codeposition Software Operating Manual - Manual (Page 8)

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A
IQS-233 Operating Manual
2.3 Using IQS-233 Codeposition Software. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.3.1 Starting IQS-233 Codeposition Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.3.1.1 Starting the Software in Windows XP or Windows 7 . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.3.1.2 Starting the Software in Windows 8 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.3.2 Logging On to the Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.3.3 IQS-233 Codeposition Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-8
2.3.3.1 File . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-9
2.3.3.1.1 Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-10
2.3.3.1.2 Open. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11
2.3.3.1.3 Save . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-12
2.3.3.1.4 Save As . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-12
2.3.3.1.5 Log Data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-14
2.3.3.2 Print Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-16
2.3.3.3 User Login . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-16
2.3.3.4 Exit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-17
2.3.3.5 Edit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-17
2.3.3.5.1 Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-18
2.3.3.5.2 Process Name and Edit Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-19
2.3.3.5.3 Layer Information and Edit Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-21
2.3.3.5.4 Layer Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-23
2.3.3.5.5 Rate Ramps Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-26
2.3.3.5.6 Films. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-28
2.3.3.5.7 Edit Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-29
2.3.3.5.8 Deposit Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-31
2.3.3.5.9 Condition Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-34
2.3.3.5.10 Source/Sensor Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-36
2.3.3.5.11 Errors Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-37
2.3.3.5.12 Materials. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-42
2.3.3.6 System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-44
2.3.3.6.1 Outputs Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-45
2.3.3.6.2 Sensors Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-47
2.3.3.6.3 Indexers Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-50
2.3.3.6.4 I/O Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-52
2.3.3.6.5 Card Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-56
2.3.3.6.6 Comm Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-58
2.3.3.6.7 Display Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-60