INFICON IC6 Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 12)

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IC6 Operating Manual
3.3.12 Counter / Timer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24
3.3.13 USB Storage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24
3.4 Process Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-25
3.4.1 Defining a Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-25
3.4.2 Executing a Process. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-27
3.4.3 Pre-conditioning a Layer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-29
3.4.4 Co-deposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-29
3.4.5 Multiple Layer Starts. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-30
3.4.6 Automating a Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-30
3.5 State Descriptions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-32
3.6 Special Features . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-34
3.6.1 Crystal Switching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-34
3.6.1.1 XtalTwo (CrystalTwo) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-35
3.6.1.2 XtalSix (CrystalSix). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-36
3.6.1.3 Xtal12 (Crystal12). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-36
3.6.1.4 Generic Sensor Crystal Switching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-37
3.6.2 Source/Crucible Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-37
3.6.2.1 Example: Programming Turret Source Crucible Selection. . . . . . . . . . . . . 3-38
3.6.3 Auto-Z. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-39
3.6.4 Auto Tune — Optimizing the Control Loop. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-40
3.6.5 Rate Watcher . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-40
3.6.6 Handheld Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-41
3.6.6.1 Determining Soak Power with the Handheld Controller . . . . . . . . . . . . . . . 3-41
3.6.7 Test Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-42
3.6.7.1 Standard or Time Compressed . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-42
3.6.7.2 Advanced Test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-42
3.6.8 USB Storage Device . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-42
3.6.9 Lock and Access Codes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-43
3.6.10 Datalog . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-43
3.6.11 DAC Monitoring . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-46
Chapter 4
Sensor & Source Setup
4.1 Sensor Setup Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.1 Sensor Display Navigation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.2 Sensor Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
4.2 Source Setup Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
4.2.1 Source Navigation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
4.2.2 Source Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
4.3 DAC Output Selection Rules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8