INFICON IC6 Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 13)

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IC6 Operating Manual
Chapter 5
Material Setup
5.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.1.1 Material Screen Overview Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.1.2 Material Definition. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
5.1.3 Material Screen Source Page Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3
5.1.4 Material Screen Sensor Parameters Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6
5.1.5 Pre/Post Screen Deposit Page Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-12
5.1.6 Post Deposit Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-15
5.1.7 Deposit Page Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-16
Chapter 6
Process Setup
6.1 Process Setup Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.2 Overview Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.3 Curr(ent) Proc(ess) Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
6.4 Process Layers 1 - 10 etc. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3
6.4.1 Layer Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3
6.4.1.1 Layer Parameter Editing. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3
6.4.1.2 Layer Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-4
6.5 Special Layer Parameter Features. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-5
6.5.1 Skip Deposit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-5
Chapter 7
General Parameters
7.1 General Setup Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.2 General Screen Process Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.3 DACs Page Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-3
7.4 COMM Page Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-4
7.5 MESSAGE Page Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-6
7.6 DATE / TIME Set Up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-7
7.7 TEST Page Set Up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-8
7.8 LOCK Page Code Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-9
7.9 AUDIO / VISUAL Page Set Up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-10
Chapter 8
Digital I/O
8.1 Digital I/O Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-1
8.2 All Input Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-1
8.3 All Output Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-2
8.4 I/O Board Page. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-3
8.4.1 Output Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-3