INFICON IC/5 Thin Film Deposition Controller - Manual (Page 12)

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IC/5 Operating Manual
6.5 Logic Statement Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-15
6.6 I/O Map Directory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-16
6.7 Define User Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-17
6.8 Floppy Disk. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-19
6.9 Error Messages in I/O
Logic Statement Set-Up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-21
Chapter 7
Remote Communications
7.1 Remote Communication
Configuration Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.2 Remote Communication Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2
7.3 Error Messages in
Remote Communications Configuration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-4
7.4 Remote Communications Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-4
7.5 Physical Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-4
7.5.1 RS-232C Serial Port. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-5
7.5.2 IEEE488 Port . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-7
7.5.2.1 IEEE Settings for a National Instruments IEEE-GPIB Board . . . . . . . . . . . . 7-8
7.6 Message Protocols. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-8
7.6.1 INFICON Message Formats. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-9
7.7 INFICON Standard
Communication Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-10
7.7.1 ECHO Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-10
7.7.2 HELLO Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-10
7.7.3 Query Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-11
7.7.3.1 Query Material Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-11
7.7.3.2 Query Process Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-14
7.7.3.3 Query Utility Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-15
7.7.3.4 Query Sensor Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-16
7.7.3.5 Query Source Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-16
7.7.3.6 Query Output Types . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-17
7.7.3.7 Query Logic Statements. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-17
7.7.3.8 Query Output Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-17
7.7.3.9 Query Input Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-17
7.7.3.10 Query User Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-17
7.7.4 UPDATE Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-18
7.7.4.1 Update Material Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-18
7.7.4.2 Update Process Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-21
7.7.4.3 Update Utility Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-22